洁净室的温度和湿度主要根据加工工艺要求确定。在满足加工工艺要求的情况下，首选考虑人的舒适度。随着空气清洁度要求的提高，工艺对温度和湿度的要求也越来越高，达到一定的温度和湿度。例如，在大规模集成电路制造的光刻曝光过程中，玻璃和硅片热膨胀系数之间的差异越来越小，作为掩膜板材料。直径100um的硅片温度上升1度，导致0.24um线性膨胀，所以有±0.1度的恒温要求湿度值一样低，因为人出汗后会污染产品，尤其是钠的半导体车间，不应该超过25度。(洁净工程)
湿度过高会导致许多问题。当相对湿度超过55%时，冷却水管的内壁会结露。如果发生在精密设备或电路中，会引起各种事故。当相对湿度为50%时，容易生锈。那么洁净工程控制温度和湿度的具体措施是什么呢？以下是德瑞鑫江南app·（中国）品牌官方列出的几种控制湿度的方法。(洁净工程)
对于大多数洁净空间，为了避免外部污染，需要保持内部压力(负压)高于外部压力(负压)。保持压差一般应符合以下原则:
1. 洁净度不高的空间压力远高于相邻洁净度不低的空间压力。
2. 洁净室工程之间的门应该是4开到洁净度不高的房间。
3. 上海风淋室的清洁空间压力远高于非洁净空间。
压差的维持取决于新风量，这种新风量应该能够补偿这种压差下从间隙泄漏的风量。因此，压差的物理意义在于通过洁净室的各种缝隙时泄漏(或渗透)风量的阻力。(江南app·（中国）品牌官方层)
对于乱流洁净室，主要采用通风次数的概念，不直接采用速度的概念，因为它主要依靠空气稀释来缓解室内污染。然而，对室内气流速度也有以下要求:
送风口出口的气流速度不宜过大，与单纯的空调房相比，要求速度衰减更快，扩散视角更大。
2.吹平面的气流速度(如侧送时的回流速度)不宜过大，以免吹起表面颗粒回流，造成再污染。这个速度一般不应该大于0.2。m/s。
